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Coherent高意聯(lián)合牛津儀器推動6英寸InP晶圓制程與產(chǎn)能升級

摘要:牛津儀器向Coherent高意提供尖端等離子體工藝設備,助力行業(yè)首條全自動化6英寸InP(磷化銦)晶圓產(chǎn)能升級,推動芯片成本降低,單晶圓器件產(chǎn)量增長超四倍。

  ICC訊 近日,化合物半導體先進等離子體工藝解決方案提供商牛津儀器(Oxford Instruments,OXIG)宣布為首條全自動化6英寸InP(磷化銦)晶圓產(chǎn)線建設發(fā)揮關鍵作用。這條光子器件制造產(chǎn)線由化合物半導體與高性能光網(wǎng)絡解決方案全球領導者Coherent高意打造。

  牛津儀器的尖端等離子體工藝設備在Coherent高意6英寸InP晶圓廠產(chǎn)能升級中發(fā)揮了核心作用。助力晶圓廠推動人工智能數(shù)據(jù)中心、通信及傳感應用領域的技術進步。Coherent高意向6英寸晶圓的轉型將帶來顯著效益,包括產(chǎn)能大幅提升、芯片成本降低以及單晶圓器件產(chǎn)量增長超四倍。

  牛津儀器提供的全自動化高通量6英寸InP工藝設備,助力Coherent實現(xiàn)卓越的生產(chǎn)效益。該先進設備專為支持從800G向1.6T產(chǎn)品演進而設計,這正是滿足人工智能互聯(lián)與光通信領域日益增長需求的關鍵要素。

  牛津儀器等離子技術公司董事總經(jīng)理Matt Kelly表示:"我們始終是數(shù)據(jù)通信市場及Coherent高意InP等離子刻蝕設備的領先供應商。我們的技術憑借卓越品質(zhì)、生產(chǎn)效率和可靠性,結合優(yōu)質(zhì)服務,完美契合了當前生成式AI應用發(fā)布帶來的器件需求拐點。我們非常榮幸能在這個激動人心的市場拓展期與Coherent高意攜手合作,并期待持續(xù)開發(fā)具有創(chuàng)新價值的等離子體工藝解決方案。"

  Coherent高意半導體器件執(zhí)行副總裁Dr. Beck Mason指出:"Coherent高意向6英寸InP晶圓制造的轉型標志著行業(yè)發(fā)展的革命性里程碑。牛津儀器在等離子體工藝領域的專業(yè)經(jīng)驗,對我們Sherman和J?rf?lla晶圓廠達到世界級性能水平至關重要。通過共同推進InP技術創(chuàng)新,我們正在為構建更快速網(wǎng)絡、提升能效以及塑造未來互聯(lián)新應用提供支撐。"

  牛津儀器與Coherent高意的協(xié)同合作,最終打造出專為新一代InP光電器件設計的制造平臺。這些器件對于人工智能數(shù)據(jù)中心、數(shù)據(jù)通信收發(fā)器乃至消費電子與汽車技術中的先進傳感等應用領域具有至關重要的推動作用。

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