甬江實(shí)驗(yàn)室微納平臺(tái)8英寸驗(yàn)證線正式通線！

  ICC訊 11月18日上午，2025異質(zhì)異構(gòu)集成前沿論壇暨甬江實(shí)驗(yàn)室信息材料與微納器件制備平臺(tái)（以下簡(jiǎn)稱“微納平臺(tái)”）驗(yàn)證線通線儀式舉行，備受關(guān)注的微納平臺(tái)8英寸驗(yàn)證線正式通線。至此，甬江實(shí)驗(yàn)室正式建成國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、世界一流的全鏈條異質(zhì)異構(gòu)集成開放共享平臺(tái)。

  當(dāng)天，鎮(zhèn)海區(qū)區(qū)委書記、寧波石化開發(fā)區(qū)黨工委書記（兼）林斌，市政府副秘書長(zhǎng)（兼）、甬江科創(chuàng)區(qū)建設(shè)領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室常務(wù)副主任徐云，甬江實(shí)驗(yàn)室主任崔平，異質(zhì)異構(gòu)集成及半導(dǎo)體相關(guān)領(lǐng)域行業(yè)專家學(xué)者，共同見證微納平臺(tái)驗(yàn)證線正式通線。同期舉辦的2025異質(zhì)異構(gòu)集成前沿論壇，吸引了國(guó)內(nèi)外相關(guān)領(lǐng)域的龍頭企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)參會(huì)，各方圍繞前沿成果、技術(shù)趨勢(shì)和關(guān)鍵挑戰(zhàn)進(jìn)行了深入交流，探討合作路徑。

  微納平臺(tái)是甬江實(shí)驗(yàn)室在電子信息材料與器件領(lǐng)域布局建設(shè)的重要公共科研支撐服務(wù)平臺(tái)，也是甬江實(shí)驗(yàn)室迄今為止投入最大的平臺(tái)。平臺(tái)建筑面積12000平方米，其中潔凈室面積6000平方米，配備包含165臺(tái)(套)高端精密設(shè)備和一支規(guī)模達(dá)到60余人的運(yùn)營(yíng)團(tuán)隊(duì)。

  平臺(tái)聚焦“異質(zhì)異構(gòu)集成”特色方向，以國(guó)際一流水平的軟硬件為支撐，為半導(dǎo)體行業(yè)提供從“科學(xué)發(fā)現(xiàn)—技術(shù)驗(yàn)證—工程實(shí)現(xiàn)”的全鏈條研發(fā)驗(yàn)證服務(wù)，并提供先進(jìn)穩(wěn)定的工藝設(shè)計(jì)套件和高工業(yè)參考價(jià)值的系統(tǒng)解決方案，致力于成為支撐前沿科技創(chuàng)新、引領(lǐng)微納制造共性技術(shù)、賦能產(chǎn)研生態(tài)的開放、共享型科創(chuàng)服務(wù)平臺(tái)。

  林斌和徐云對(duì)論壇的成功舉辦和微納平臺(tái)驗(yàn)證線通線表示祝賀。林斌指出，微納平臺(tái)打破了“科學(xué)發(fā)現(xiàn)與工程轉(zhuǎn)化”的壁壘，成為產(chǎn)學(xué)研協(xié)同攻關(guān)的“硬核支撐”，這將為異質(zhì)異構(gòu)集成技術(shù)突破提供關(guān)鍵引擎，為寧波乃至全國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)能。他表示，以此次論壇為紐帶，鎮(zhèn)海區(qū)將始終當(dāng)好“首席服務(wù)官”，拿出最大誠(chéng)意、最優(yōu)資源、最佳服務(wù)，與專家共同深化科研合作，與企業(yè)家拓展合作空間，推動(dòng)更多優(yōu)質(zhì)項(xiàng)目在寧波、鎮(zhèn)海落地生根、開花結(jié)果。

  徐云表示，甬江實(shí)驗(yàn)室微納平臺(tái)是甬江科創(chuàng)區(qū)“打造世界一流科創(chuàng)策源中心”的關(guān)鍵一環(huán)，此次8英寸驗(yàn)證線正式通線，是寧波科技創(chuàng)新發(fā)展的大事，將進(jìn)一步提升寧波在微納制造領(lǐng)域的工程驗(yàn)證能力，為新一代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)原創(chuàng)研究和技術(shù)落地提供更高水平的公共服務(wù)與創(chuàng)新支撐。他希望甬江實(shí)驗(yàn)室持續(xù)構(gòu)建原創(chuàng)技術(shù)“策源地”，營(yíng)造高端人才集聚“強(qiáng)磁場(chǎng)”，打造全鏈創(chuàng)新轉(zhuǎn)化“加速器”，為寧波經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展注入持續(xù)動(dòng)能。

  崔平對(duì)各位專家學(xué)者和領(lǐng)導(dǎo)的參會(huì)表示熱烈歡迎。她指出，半個(gè)多世紀(jì)以來，摩爾定律始終指引著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展。然而，隨著晶體管尺寸逼近原子極限，傳統(tǒng)“微縮”路徑已難以為繼，異質(zhì)異構(gòu)集成技術(shù)正是應(yīng)對(duì)這一挑戰(zhàn)的創(chuàng)新方案，也是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“變道超車”的重要戰(zhàn)略機(jī)遇。甬江實(shí)驗(yàn)室信息材料與微納器件制備平臺(tái)正是基于這樣的戰(zhàn)略考量而建設(shè)的。

  “不做特定賽道的競(jìng)爭(zhēng)者，而是做前沿賽道的鋪路人?！?/strong>崔平表示，驗(yàn)證線的開通不僅是從“6英寸”到“8英寸”的尺寸升級(jí)，更是從“概念驗(yàn)證”到“工程驗(yàn)證”的能力躍遷。甬江實(shí)驗(yàn)室微納平臺(tái)將始終秉持開放共享的原則，恪守"中立"精神，持續(xù)強(qiáng)化平臺(tái)功能和服務(wù)能力，為高校院所和企業(yè)提供先進(jìn)完備的基礎(chǔ)設(shè)施和工藝驗(yàn)證支撐，加速創(chuàng)新成果轉(zhuǎn)化落地，貫通創(chuàng)新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈，推動(dòng)形成協(xié)同高效的創(chuàng)新生態(tài)體系。